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一種工件臺動態性能檢測方法

989   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:18:53
一種工件臺動態性能檢測方法,工件臺動態性能檢測裝置，包括藍光激光刻寫模塊、照明與成像模塊、計算機、反射鏡、透藍反紅二向色鏡片、反紅藍透白光二向色分光平片、刻寫物鏡、紅光激光測距模塊、反射鏡、調焦機構、壓電陶瓷、測試片、工件臺、控制器。將測試片放置于工件臺上，通過調焦機構將藍光聚焦到測試片的表面。同步控制工件臺與控制器，完成工件臺動態特性的速度、加速度、直線度、最小步距、往復運動特性、垂直度檢測及重復定位精度檢測。本發明將工件臺的多種動態特性靜態化表征，方便測量，檢測精度高、檢測靈敏度高。
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“一種工件臺動態性能檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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物理檢測
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