本發明公開了一種光柵尺性能檢測方法和系統,其中光柵尺性能檢測方法包含以下步驟:運行數控程序控制機床的各運動軸運動,使用信號采集模塊采集機床運動過程中的指令速度、指令位置,并使用待測光柵尺獲取機床運動的實際位置;獲取機床運動過程中的跟隨誤差;根據指令速度,形成有效指令位置和有效跟隨誤差;將有效指令位置等間隔化;將有效跟隨誤差以線性內插的插值方法,得到等位置間隔的跟隨誤差數據序列;經過帶通濾波器,得到濾波后的跟隨誤差數據序列;獲取濾波后的跟隨誤差數據序列的特征值,根據特征值評價待測光柵尺的性能。本發明采用低成本的技術方案,實現對光柵尺的性能進行高精度的檢測。
聲明:
“光柵尺性能檢測方法和系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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