銅蝕刻廢液的處理方法

本發(fā)明涉及一種銅蝕刻廢液的處理方法，包括：將銅蝕刻廢液在負載有催化劑的固體填料的作用下分解，得到第一廢液及第一廢氣；調節第一廢液的pH至8～10得到第二廢液；將第二廢液蒸餾得到餾出液和濃縮液；將餾出液生化處理得到凈化液和第二廢氣；將濃縮液焚燒處理得到第三廢氣；及將第一廢氣、第二廢氣與第三廢氣用廢氣處理設備處理。上述銅蝕刻廢液的處理方法能夠有效控制銅蝕刻廢液中過(guò)氧化氫的分解速度，提高過(guò)氧化氫分解的安全性，且處理過(guò)程中無(wú)臭氣排出，不會(huì )污染環(huán)境。