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硅片切割廢砂漿中固體的回收循環再生利用工藝

806   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:02:29
本發明提供了一種硅片切割廢砂漿中固體的回收循環再生利用工藝,首先將硅片切割廢砂漿原料進行固液分離,分離出固體碳化硅(SIC),液體聚乙二醇(PEG)兩塊待處理;其中固體碳化硅經過清洗、配漿反應、精分、分級、干燥包裝等流程從每噸廢砂漿中可提取30%的符合硅片切割要求的碳化硅微粉。本發明能夠及時處理硅片切割廠家所產生的砂漿廢料,回收的碳化硅可直接供切割廠家循環使用,具有較好的經濟與社會效益,為節約能源和環境保護做出貢獻。
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“硅片切割廢砂漿中固體的回收循環再生利用工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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