一種硅片高壓沖洗槽,包括槽體、擋水板升降裝置、高壓噴淋裝置及過濾裝置,槽體側壁埋設有噴淋裝置,噴淋裝置通過噴淋管道和連接若干高壓噴水頭,槽體的兩側安裝有擋水板升降裝置,槽體底部連接排水管,排水管底部連接過濾裝置,過濾裝置分為廢水罐和凈水罐,廢水罐與凈水罐之間安裝有濾網,廢水罐底部安裝有排污管,凈水罐頂部連接有外接水管,底部連接有循環水管,循環水管與噴淋管道對接。本實用新型的槽體內埋設高壓噴淋裝置,通過強力水流沖刷硅片,提升清洗效率;擋水板通過電動伸縮桿上下位移,不影響清洗吊籃的垂直行程的同時,可在沖刷過程中避免相互污染;過濾裝置可將殘渣過濾,循環使用水源,節約水源、降低成本。
聲明:
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