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空心玻璃微珠導電材料的制備方法

869   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:40:12
本發明公開一種空心玻璃微珠導電材料的制備方法,采用磁控濺射真空鍍膜設備,以經過預處理的空心玻璃微珠作為基底,以金屬銀作濺射靶材,通過向真空室內充入惰性氣體并同時在真空室內輝光放電,使金屬銀完全濺射到空心玻璃微珠表面生成銀膜。通過調節磁控濺射真空鍍膜設備中樣品架的擺動頻率和超聲波振動功率,讓空心玻璃微珠能充分暴露其表面,使所鍍的金屬銀膜均勻性好且附著力強;通過改變磁控濺射真空鍍膜設備真空室內的工作氣壓、濺射功率、溫度、惰性氣體的流量和濺射時間等工藝,可在不同粒徑的空心玻璃微珠表面沉積不同厚度的金屬銀膜;該工藝操作簡單,成本低廉,無廢水廢氣污染,所制備的薄膜均勻,連續。
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