本發明提供一種基于硅棒線切割廢料制備硅氧化物的方法,涉及硅材料領域。本發明將硅棒線切割產生的硅廢料通過熱氧化(和歸中反應)直接得到硅氧化物材料,不需要經過蒸發和冷凝過程,也無需經過粉碎破裂,工藝過程簡單,成本低廉;通過控制反應條件,可以實現氧原子和硅原子比例在0.16∶1~2∶1范圍內的調節;充分利用硅棒線切割產生的硅廢料來制備硅氧化物,進一步將其應用到制備鋰離子電池或石英坩堝中,能夠促進硅廢料的高價值利用。
聲明:
“基于硅棒線切割廢料制備硅氧化物的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)