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片上低損耗超細脊狀波導的制備方法

829   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:25:34
一種片上低損耗超細脊狀波導的制備方法，包括在薄膜表面鍍金屬層、飛秒激光選擇性燒蝕金屬膜、化學機械拋光和過度拋光及金屬膜化學腐蝕等步驟。本發明方法能夠制備寬度在亞微米級，表面和邊緣光滑度極高，傳輸損耗極低的超細脊狀波導。該方法適用于各種片上薄膜(包含但不限于鈮酸鋰單晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金剛石薄膜等)上制備高品質的超細脊狀波導。
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