本發明提供了一種Li1+xAlxGe2?x(PO4)3固體電解質薄膜的制備方法及應用,所述方法包括以下步驟:a、靶材的制備:按照化學式中各元素的摩爾比稱取原料,其中,0≤x≤1;將原料混合均勻后升溫至600℃,并在空氣氣氛中保溫4h,反應結束后得到白色粉末;在所述的白色粉末中加入Ge粉,充分研磨得到灰白色粉末;對所得的灰白色粉末進行壓制并燒制成圓餅狀靶材;b、采用射頻磁控濺射法制備Li1+xAlxGe2?x(PO4)3固體電解質薄膜;c、薄膜后處理。本發明制備的薄膜成分完整,表面平整,重復性好。其最高離子電導率可達6.42×10?6S/cm,可用于全固態薄膜鋰離子電池的固體電解質層。
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