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利用原子層沉積裝置制備氟化石墨烯的方法

785   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:13:42
本發明公開的利用原子層沉積裝置制備氟化石墨烯的方法，主要包括將石墨烯通過轉移基底放置在原子層沉積裝置的支撐架上，利用玻璃金屬轉換件內氟化劑的蒸發進入原子層沉積裝置的腔體，并使得石墨烯吸附氟原子，實現氟化石墨烯的可控制備。該方法工藝流程完全可控，操作簡單方便，特別適合于氟化石墨烯的大規模工業化生產，制備的氟化石墨烯在納米電子器件、潤滑材料、大容量鋰電池等領域具有廣泛的應用前景。
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“利用原子層沉積裝置制備氟化石墨烯的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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