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研磨劑組合物

823   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:38:50
本發明提供一種研磨劑組合物，其中，在氧化物單晶材料基板的研磨中，能夠抑制研磨時的載體鳴音，并且實現研磨后的研磨表面的平坦性的提高和研磨速度的提高。一種研磨劑組合物，其用于對鉭酸鋰單晶材料或鈮酸鋰單晶材料進行研磨加工，上述研磨劑組合物含有二氧化硅顆粒、水溶性高分子化合物和水，二氧化硅顆粒包含：平均粒徑為10～60nm的小粒徑二氧化硅顆粒以及平均粒徑為70～200nm的大粒徑二氧化硅顆粒，小粒徑二氧化硅顆粒的質量相對于小粒徑二氧化硅顆粒和大粒徑二氧化硅顆粒的總計質量的比例為50～95質量％，水溶性高分子化合物由含有源自不飽和酰胺的結構單元的均聚物或共聚物構成。
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聲明：
“研磨劑組合物” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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