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在負極集流體材料上激光濺射沉積漁網狀SiOx薄膜的制備方法

1059   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:32:20
本發明公開了一種在負極集流體材料上激光濺射沉積漁網狀SiOx薄膜的制備方法，以硅片作為濺射靶材，以負極集流體材料作為沉積基底，將負極集流體材料和硅片同時固定于試樣臺上，采用激光濺射沉積的方法，靶材硅片在激光的燒蝕作用下與背景氣體氧氣發生反應生成SiOx沉積在負極集流體材料基底上。將本發明制備得到的沉積有SiOx薄膜的負極集流體材料作為鋰離子電池負極，是一種具有高容量和循環穩定性的鋰離子電池負極材料，且不加入任何粘結劑和導電劑避免了添加劑對負極材料電化學性能的不良影響。本發明實施費用低、操作簡便，可控性高，是一種高效經濟的合成方法。
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