本發明涉及一種TC?SAW諧振器、制作方法和濾波器,TC?SAW諧振器包括:單晶補償襯底、設置在單晶補償襯底上的單晶壓電材料層和設置在單晶壓電材料層上的叉指換能器;單晶壓電材料層為10~60°Y切鉭酸鋰或者0~70°Y切鈮酸鋰;單晶壓電材料的厚度為0.05λ~1λ,λ為聲表面波波長;單晶補償襯底為正溫度系數的石英材料;具有更低溫度系數要求和更高機電耦合系數,進一步提升Q值。
聲明:
“TC-SAW諧振器、制作方法和濾波器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)