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內嵌雙層膜的LNOI晶片及其制備方法

725   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:28:26
本發明公開了一種內嵌雙層膜的LNOI晶片及其制備方法，該晶體的整體結構自基底向上層依序包括：硅或鈮酸鋰基底(1)、二氧化硅緩沖層(2)、金電極層(3)、半導體有機高分子層(4)和鈮酸鋰薄膜層(5)，所述金電極層(3)和所述半導體有機高分子層(4)為內嵌雙層膜。與現有技術相比，本發明極大地降低了波導的損耗，波導性能優良；使LNOI材料形成電流回路起到了很重要的便利作用，顯著提高了LNOI材料形成光學或微電子學器件的可行性；本發明將直接推動基于LNOI平臺的集成光路和器件向實用化方向邁進，可為下一代光電混合集成芯片的研發提供支撐。
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