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基于體聲波諧振器的光聲波陀螺儀及其加工方法

1056   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:23:23
本發明公開了一種基于體聲波諧振器的光聲波陀螺儀及其加工方法，陀螺儀包括鈮酸鋰光通路層、體聲波諧振器、共型電極和玻璃襯底，玻璃襯底與體聲波諧振器的硅層進行陽極鍵合，共型電極有多個，且均勻分布在體聲波諧振器外圍，并與玻璃襯底陽極鍵合，鈮酸鋰光路層覆蓋在體聲波諧振器上方，并在45°和225°方向延伸出光通路條，且光通路條位于共型電極上方；在每個共型電極和體聲波諧振器底部設有金屬焊盤；玻璃襯底上開設有與共型電極和體聲波諧振器底部的金屬焊盤位置一一對應的電極通孔。本發明可以做的很小，結構完整性好、測量精密度高；加工封裝方法能縮短生產周期，適合批量化生產。
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聲明：
“基于體聲波諧振器的光聲波陀螺儀及其加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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加工技術
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