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用于電光調制器的電光晶體薄膜、制備方法及電子元器件

1049   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:23:22
本申請提供一種用于電光調制器的電光晶體薄膜、制備方法及電子元器件，在層疊有電極層的支撐基板上制備目標凹槽陣列；將電光晶體基片進行離子注入、并切割成電光晶體切片；將各個電光晶體切片轉移至目標凹槽陣列中對應的凹槽內、且與目標凹槽陣列中對應的凹槽內的隔離層鍵合，得到鍵合體；對所述鍵合體進行熱處理，得到電光晶體薄膜。本申請不需要對鈮酸鋰和鉭酸鋰等物理和化學性質都非常穩定的電光晶體材料進行刻蝕形成光波導，而是將切割好的各電光晶體切片轉移至預先制備得到的凹槽陣列中對應的凹槽內，其中，保留在各個凹槽內的電光晶體薄膜層形成光波導結構，通過由電極形成的凹槽控制光波導的光信號，從而實現電光調制功能。
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“用于電光調制器的電光晶體薄膜、制備方法及電子元器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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