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晶片夾持裝置

848   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:22:23
本發明提供一種晶片夾持裝置。所述晶片夾持裝置包括基板、固定單元和解鎖機構，所述固定單元在所述基板的外周布設至少三個，支撐晶片與所述基板之間保持一定距離h，所述基板的一側設有所述解鎖機構，另一側設有用于放置晶片的安裝空間；所述解鎖機構相對于所述固定單元的一端位移運動，使所述固定單元的另一端向所述安裝空間靠近夾持或遠離松開。本發明克服晶片背面靜電吸力的影響，同時為靜電的的消除提供了途徑，解決了鋰酸鋰等晶片在注入工藝過程中產生靜電導致取片困難的問題。
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聲明：
“晶片夾持裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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