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多孔硅的強流脈沖電子束制備方法及應用

1034   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:22:11
本發明屬于材料制備領域，具體涉及一種多孔硅的強流脈沖電子束制備方法及應用。本發明首先對單晶硅片進行前處理，將單晶硅片置于強流脈沖電子束工作臺上，啟動強流脈沖電子束設備，對設備進行抽真空后，設定加速電壓15?25KV，能量密度2.0?3.0J/cm2，脈沖次數5?30次，最終獲得經強流脈沖的不同孔徑的多孔硅材料。本發明整個制備工藝操作簡單、制得的多孔硅疏松多孔且大小均勻，具有較好的比表面積，單晶硅片用于鋰離子電池后，電池容量有很大的提高，循環性能優良。
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