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高品質波導結構及制備方法

1164   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:20:03
本發明公開了一種高品質波導結構及制備方法，其制備包括鈮酸鋰薄膜表面鍍金屬鉻膜、飛秒激光直寫鉻膜作掩模層、化學機械拋光、化學氣相沉積以及鈮酸鋰薄膜鍵合等步驟。本發明方法的制備流程優化了化學機械拋光工藝制備波導的構型同時具備超低傳輸損耗的特性、優異電光特性，為實現鈮酸鋰光子器件邁向產業化提供了關鍵步驟，同時也可推進微納光子學、集成光學以及微波光子學的發展。
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“高品質波導結構及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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加工技術
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