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帶氮化硅層的單晶薄膜及其制備方法

1049   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:19:17
本發明公開了一種帶氮化硅層的單晶薄膜及其制備方法，從上至下包括氮化硅層、鈮酸鋰薄膜層、氧化硅層和硅襯底層；本發明的帶氮化硅層的單晶薄膜，由于氮化硅有好的絕緣效果和寬的光學透過窗口，作為光波導傳播層，與鈮酸鋰薄膜有更好的匹配性、高的模式限制、低的傳播損耗和高功率處理能力；本發明的帶氮化硅層的單晶薄膜的制備方法，氮化硅波導采用LPVCD沉積制成，并和鈮酸鋰調制器進行集成，可以得到集成度高、寬帶寬、損耗低的波導器件；本發明的制備方法適用于工業生產，成品率高。
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