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聲表面波器件及其制造工藝

987   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:15:14
一種聲表面波器件,包括由64°旋轉Y-切割鈮酸鋰(64LN)或36°旋轉Y-切割的鉭酸鋰(36LT)構成的壓電襯底和在其上形成的叉指電極。叉指電極包括鈦緩沖金屬膜和在其上形成的鋁膜。在64LN襯底上,僅從選區電子衍射結果看,鈦緩沖金屬膜和鋁膜都是單晶薄膜;在36LT襯底上,通過在鈦緩沖金屬膜上形成鋁膜可獲得取向能力強的、在(111)方向上取向的多晶鋁膜。當鋁膜轉化成單晶或取向強的(111)取向多晶體時,都可以阻止鋁原子的遷移,提高功率壽命。
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