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基于超聲駐波場的包覆壓電單元薄膜的制造方法及裝置

1150   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:08:13
本發明公開了一種基于超聲駐波場的包覆壓電單元薄膜的制造方法及裝置。鈮酸鋰晶片上制有兩對正交排布的銅質叉指電極，叉指電極與鈮酸鋰晶片構成叉指換能器，PDMS微流道覆蓋在鈮酸鋰晶片的正中央，PDMS微流道內均布有光敏壓電混合液，紫外光源置于鈮酸鋰晶片下方；兩對叉指換能器在鈮酸鋰晶片上激發聲表面波，四列行波在PDMS微流道覆蓋區域疊加形成穩定的二維駐波場，光敏壓電混合液中的壓電顆粒在聲輻射力作用下向聲場節點移動，從而形成陣列排布的壓電單元，待壓電單元排布穩定后，采用紫外光源對光敏壓電混合液進行照射使其交聯固化。本發明具有精度高、操作簡便、可控性強和生產率高等特點。
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“基于超聲駐波場的包覆壓電單元薄膜的制造方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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