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薄膜鈮酸鋰基異構集成微波光子收發芯片

830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:28:58
本發明公開了一種薄膜鈮酸鋰基異構集成微波光子收發芯片，屬于集成微波光子技術領域，該芯片主要包括射頻轉換開關、低噪聲放大器電路、功率放大器電路、激光器、電光調制器、光電探測器、光路轉換開關和光延時器，實現了射頻收發前端、電光/光電轉換與光延時芯片的異構集成；各光芯片之間通過薄膜鈮酸鋰基光波導連接，光芯片與微波芯片之間通過金屬凸點鍵合及通孔互連等工藝實現三維異構集成。該芯片可以實現基于光子技術的微波收發與波束控制功能，且具有小型化、集成度高、性能穩定等優點，滿足微波光子雷達系統收發前端大規模陣列化應用需求。
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聲明：
“薄膜鈮酸鋰基異構集成微波光子收發芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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