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基于鈮酸鋰-氮化硅晶圓的光電單片集成系統

789   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:28:57
光電子集成技術作為發揮光子優勢的重要技術手段，成為光通信、微波光子等領域的重要支撐技術。然而，現有光電子集成還處在單個芯片實現單種器件的水平，多種器件之間的互連成為極大的技術挑戰。本發明提出一種基于鈮酸鋰?氮化硅晶圓的光電單片集成系統，利用一種新型晶圓(鈮酸鋰?氮化硅晶圓)，實現了包括電光調制器、光子無源器件等在內的多器件單片集成系統。該系統的制備具有硅基CMOS工藝兼容性，可以在多數芯片制造廠商的平臺上實現。并且該系統包含了電光調制、無源信號處理、光電探測在內的多個功能模塊，可以滿足目前多數光電子系統的單片集成。
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加工技術
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