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p型透明導電摻鋰氧化鎳薄膜及其制備方法

997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:28:57
本發明涉及一種p型透明導電摻鋰氧化鎳薄膜及其制備方法。本發明首先采用化學純氧化鎳和碳酸鋰的混合粉末，經過研磨、壓片、固相反應、燒結過程制備出LixNi1-xO陶瓷靶材；然后以普通玻璃為基板，利用LixNi1-xO陶瓷靶，通過電子束蒸發鍍膜系統，在適當的電子束流、蒸發高壓、蒸發壓強、蒸發時間以及后退火處理溫度的條件下制備了具有p型透明導電的LixNi1-xO薄膜。所制備的薄膜具有高電導率、可見光范圍內相對較高的透射率等優良光電特性。本發明方法獲得的p型透明導電氧化物薄膜在透明電子學領域具有較好的應用前景。
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