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鈮酸鋰晶體亞表面損傷深度快速預測方法

810   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:28:00
本發明公開了軟脆晶體固結磨料研磨拋光技術領域的一種鈮酸鋰晶體亞表面損傷深度快速預測方法，該鈮酸鋰晶體亞表面損傷預測方法包括如下步驟：BPM模型建立：采用美國ITASCA公司研發的PFC2D二維離散元模擬軟件，利用在設定的步長內不斷迭代的方法來求解離散單元中剛性體的變形、受力和不同剛性體之間的相互作用，將設置好的外界輸入參數施加在建立好的模型上，同時提取剛性體和相關墻體的當前接觸參數，根據確定的本構關系來算出它們之間的接觸力，本發明為LN等軟脆晶體SSD的評價及控制提供了快速準確的預測方法，有效地確定了后續工序的加工去除量，同時為下一道工序的制定提供了參考依據，提高了LN等軟脆晶體的研磨拋光加工效率。
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