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鋰鉺共摻制備近紅外發光ZnO薄膜的方法

1124   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:12:07
本發明公開的鋰鉺共摻制備近紅外發光ZnO薄 膜的方法，步驟如下：1)按ZnO∶ Er2O3∶ Li2CO3的摩爾比為95～98∶1～2.5∶1～2.5，取純ZnO、 Er2O3和 Li2CO3粉末，球磨混合后放到硅碳棒爐中在700～900℃下預燒， 加入粘結劑碾磨壓制成型，燒結得陶瓷靶材；2)將靶材放到脈 沖激光沉積裝置的生長室中，在襯底上生長含鉺的ZnO薄膜； 3)含鉺的ZnO薄膜在700～1500℃、氧氣氛中退火。本發明以 ZnO、 Er2O3和 Li2CO3粉末為原料，成本低廉，工藝簡單。制得的鋰鉺共摻ZnO 薄膜能有效地提高在1.5μm處的光致發光強度，不僅晶體質 量好，且具有較好的表面形貌。
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“鋰鉺共摻制備近紅外發光ZnO薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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