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三硼酸鋰晶體表面增透膜膜系及制備工藝

953   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:10:21
一種三硼酸鋰(簡稱LBO)晶體表面增透膜膜系及制備工藝，該增透膜的膜系是G Gd2O3(λ/4)LaF3(λ/4)MgF2(λ/4)A(其中G代表基底材料，A代表空氣)，制備工藝的特點是用丙酮作表面清潔劑，外用調壓器對被鍍件緩慢加熱、控溫(不大于200℃)用銀箔包裹保護未鍍面，成膜后的晶體在真空室中緩慢退火。取消空氣中后堅膜處理。用該發明鍍制了倍頻增透膜的LBO晶體器件已出口千片以上，在激光損傷閾值和耐久性方面處于國際領先地位。
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加工技術
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