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鋁酸鋰晶片上生長非極性GaN厚膜的方法

1029   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:10:21
一種在鋁酸鋰晶片上制備非極性GaN厚膜的方法，包括：方法一：用(302)面γ－LiAlO2作為襯底，用氫化物氣相外延方法制備面()面GaN厚膜。方法二：用(302)面γ－LiAlO2作為襯底，通過金屬有機化學氣相沉積方法預先在(302)面γ－LiAlO2襯底上制備出GaN薄膜，形成()GaN/(302)γ－LiAlO2復合襯底，在此復合襯底上再用氫化物氣相外延方法制備a面()GaN厚膜；剝離(302)面γ－LiAlO2襯底后可制備出具有自支撐襯底的非極性的()GaN厚膜。本發明的非極性a面GaN厚膜可用于GaN的同質外延生長以及非極性III族氮化物器件的制備。
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