一種薄膜鈮酸鋰電光開關,包括由下至上堆疊的襯底、下包層、薄膜鈮酸鋰平板光波導、電光開關組件以及上包層,電光開關組件包括沿光路依次設置在薄膜鈮酸鋰平板光波導上的輸入耦合器、電光作用區以及輸出耦合器,輸入耦合器具有至少一條第一輸入光波導、第一多模干涉區以及兩條第一輸出光波導;輸出耦合器具有兩條第二輸入光波導、第二多模干涉區以及至少一條第二輸出光波導;電光作用區具有地電極與信號電極;地電極與信號電極均由自上而下設置的上層金屬電極與下層金屬電極構成,上層金屬電極的厚度均大于下層金屬電極。本發明可有效降低光開關的驅動電壓,同時確保電光波速能夠匹配。
聲明:
“薄膜鈮酸鋰電光開關” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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