本實用新型涉及一種折返式補鋰設備,包括補鋰腔室及設于其內的放卷裝置、收卷裝置、導向輪組、至少兩個靶材安裝機構組及基片加熱機構;導向輪組包括第一、第二導向輪,第一導向輪用于導向且使基片上第一側表面的第一區域和第二區域相對設置,第二導向輪用于導向且使基片上第二側表面的第三區域和第四區域相對設置;各組內的靶材安裝機構的數量均為多個且沿基片的傳輸方向設置;其中有兩個靶材安裝機構組分別設于基片的第一區域和第二區域之間的位置、第三區域和第四區域之間的位置;基片加熱機構包括加熱安裝機構及設于其上的加熱片,加熱安裝機構設于各組內的相鄰兩個靶材安裝機構之間,加熱片用于對基片加熱。
聲明:
“折返式補鋰設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)