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鈮酸鋰電光器件厚膜導線電極的制作方法

1161   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:09:49
本發明公開了一種鈮酸鋰電光器件厚膜導線電極的制作方法，包括以下步驟：S1：在帶有質子交換波導的鈮酸鋰基片上鍍金屬種子層，獲得金屬化基片，所述金屬種子層分為兩層，下層為粘附力增強層，上層為純度不低于99.99％的金層；S2：在金屬化基片上旋涂光刻膠，經烘烤、曝光、顯影，獲得形如電極的光刻膠圖案；S3：將帶有光刻膠的金屬化基片浸沒于金電鍍液中電鍍；S4：使用去膠液去除光刻膠，形成隆起的電極圖案；S5：先去除金屬種子層的金層，再去除粘附層，完成厚膜導線電極的制備。本發明既克服了厚膜電極應力過大的問題，又解決了貴金屬的大量浪費問題。
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聲明：
“鈮酸鋰電光器件厚膜導線電極的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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