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基于磁控濺射原理的金屬鋰復合負極制備裝置

1125   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:56:15
本發明屬于鋰電池制備技術領域，具體提供一種基于磁控濺射原理的金屬鋰復合負極制備裝置，包括裝/取片腔和3個結構相同的獨立濺射腔；每個獨立濺射腔能夠獨立完成磁控濺射鍍膜；裝置還包括由隨轉架及與之匹配連接的移動滑軌構成的基片移動平臺，所述隨轉架位于裝/取片腔內中心位置，基片通過真空鎖放入裝/取片腔內、通過移動滑軌移動至隨轉架、在隨轉架上回轉換位并通過移動滑軌移動至任一獨立濺射腔內。本發明復合負極材料中各個組分分別在獨立濺射腔內完成，能夠實現控制氣氛、濺射率等參數的精準控制，即實現復合負極材料中各個組分成分比例的精準控制；制備得鋰?硅?碳復合負極材料能夠獲得均勻的材料成分和強度，有利于實現工業化生產。
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“基于磁控濺射原理的金屬鋰復合負極制備裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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