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基于鈮酸鋰薄膜的空氣隙型剪切波諧振器及其制備方法

1105   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:34:53
本發明公開了基于鈮酸鋰薄膜的空氣隙型剪切波諧振器及其制備方法，通過對電極形狀、電極尺寸、壓電材料取材、厚度等方面的優化設計，減小了橫波寄生模式的影響，使得諧振器僅工作在剪切波模式下，提高了諧振器的品質因數；在雙拋高阻硅片的一個表面先后沉積保護層、犧牲層材料，再將襯底化學機械拋光；通過離子注入與晶圓鍵合的方法，將鈮酸鋰薄膜轉移到該拋光的襯底上面，然后利用剝離工藝在鈮酸鋰薄膜表面濺射金屬叉指電極；最后利用干法刻蝕或者濕法腐蝕的辦法去掉犧牲層；隨后將這一面保護起來，在另一面重復之前的生長，除去保護層后獲得成品器件；進而提高了諧振器的機械強度與可靠性，可適用于諧振器的大規模制造。
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聲明：
“基于鈮酸鋰薄膜的空氣隙型剪切波諧振器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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