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基于金剛石晶格的半導體材料及其制造設備

1090   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:32:15
本發明公開了一種基于金剛石晶格的半導體材料，涉及半導體技術領域。所述半導體材料為在所述襯底表面均勻鋪設含有鋰元素的粉末，以含碳和含氮的混合氣體作為氣體源，采用化學氣相沉積法在襯底上生長出的薄膜，另外，本發明還提出一種相應的制造設備。本發明能夠阻止鋰原子摻入金剛石后擴散聚集成鋰團簇，保證了鋰原子在晶格中的活性狀態。
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