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高沉積速率制備鋰離子固體電解質薄膜的方法

842   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:28:38
本發明涉及一種高沉積速率制備鋰離子固體電 解質薄膜的方法。它采用脈沖激光沉積法與氮離子源發生器相 結合制備氮化的Li3PO4薄膜，簡稱鋰磷氧氮(LiPON)，沉積速率快，每小時可達0.8～2.0μm。采用本發明制備的鋰磷氧氮薄膜，其Li離子傳導率可達2～5×10－6s/cm。結合V2O5和MoO3等其它薄膜電極與熱蒸發制備的金屬鋰薄膜電極可組裝成全固態薄膜鋰離子電池，該電池具有良好的充放電性能。
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