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離子束輻照制備鈮酸鋰納米疇結構的方法和裝置

787   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:20:58
本發明涉及一種離子束輻照制備鈮酸鋰納米疇結構的方法和裝置。其包括以下步驟：1）將待加工的鈮酸鋰樣品固定在離子束刻蝕設備的樣品臺上，調整使離子束的入射角達到工作角度；調整使離子源的中心與工件中心重合；2）將離子束刻蝕設備抽至高真空，真空度低于2×10?3Pa；通入高純度99.999%惰性氣體氬氣或氙氣，利用氣體流量計控制氣體流量，使工作真空保持在2×10?2 Pa到8×10?2Pa；3）開啟離子源，對鈮酸鋰樣品進行離子束輻照；4）將輻照后的鈮酸鋰晶體置于高溫爐中進行熱處理，其中熱處理溫度80~350℃，時間0.2~3小時。該方法利用離子轟擊在樣品表面誘導形成自組織納米疇結構，并且可以通過調控離子束參數來控制所獲得的納米疇結構的特征。
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