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基于鈮酸鋰單晶薄膜的寬帶行波電光調制器

1163   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:11:06
本發明涉及一種基于鈮酸鋰薄膜的寬帶行波電光調制器，該調制器包括：基底、鈮酸鋰薄膜、光學波導、緩沖層以及金屬電極。所屬基底采用石英晶片；所述鈮酸鋰薄膜具有單晶結構且厚度為4至10微米；所述光學波導采用鈦擴散波導或退火質子交換波導；所述緩沖層采用氧化硅或氧化鋁薄膜；所述金屬電極采用行波電極結構，金屬電極的火線與地線對稱地位于光學波導的兩側。本發明的有益技術效果在于：可同時實現鈮酸鋰電光調制器的折射率匹配與阻抗匹配，提高器件的工作帶寬，且未增加器件的半波電壓，可有效地降低鈮酸鋰寬帶電光調制器的生產成本。
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“基于鈮酸鋰單晶薄膜的寬帶行波電光調制器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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