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鉭酸鋰晶體基片的黑化處理方法

938   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:57:25
一種鉭酸鋰晶體基片的黑化處理方法，在化學還原氣氛中，將金屬片與鉭酸鋰晶體基片之表面進行粗化后以接觸方式交替堆疊，置于低于居里溫度的環境中，對鉭酸鋰晶體基片進行還原處理，使鉭酸鋰晶體基片由白色或淡黃色轉變為有色不透明化，依然保持其原有之壓電材料特性。鉭酸鋰晶體基片經還原處理可降低其體電阻率，可改善聲表面波濾波器（SAW?filter）制造過程中因溫度差異引起熱釋電效應產生的放電現象，并提高叉指電極線條于光刻工藝的精度，有助于提升SAW器件制作的成品率降低生產成本。
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