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高EQE和低FWHM的鈣鈦礦光電探測器及其制作方法

1013   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-25 02:00:02
本發明公開了一種高EQE和低FWHM的鈣鈦礦光電探測器及其制作方法；傳統的利用電荷收集變窄機制來實現窄帶探測的方法在淬滅掉短波長載流子的同時也使目的波長的外量子效率受到顯著損耗。本發明包括鈣鈦礦吸收層Ⅰ、電子阻擋層、鈣鈦礦吸收層Ⅱ、電子傳輸層、陽極電極和陰極電極。鈣鈦礦吸收層Ⅰ、電子阻擋層、鈣鈦礦吸收層Ⅱ、電子傳輸層依次排列在陽極電極與陰極電極之間。鈣鈦礦吸收層Ⅰ和電子阻擋層為P型；鈣鈦礦吸收層Ⅱ和電子傳輸層為N型；電子阻擋層與鈣鈦礦吸收層Ⅱ形成異質PN結。本發明具有實現高光響應、高比探測率、高外量子效率和小于20nm的半峰全寬的窄探測的功能，且外加偏置電壓完全不會影響器件的窄帶效果。
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