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基于鈣鈦礦晶圓的直接型X射線探測器及其制備方法

1026   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-23 20:20:25
本發明涉及光電探測器技術領域，提供了一種基于鈣鈦礦晶圓的直接型X射線探測器，包括鈣鈦礦晶圓以及蒸鍍在所述鈣鈦礦晶圓兩端的金電極；其中，所述鈣鈦礦晶圓采用MA3Bi2I9多晶晶圓，厚度為0.6～1mm。本發明還提供了一種基于鈣鈦礦晶圓的直接型X射線探測器的制備方法。本發明的優點在于：基于MA3Bi2I9鈣鈦礦晶圓器件，不僅制備簡單、材料利用率高，還具有較高的電阻率、較高的載流子遷移率，使得制備的晶圓X射線探測器具有較高的靈敏度和極低的X射線檢測下限。
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探礦技術
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