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分流式CVD沉積室

993   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:59:49
本發明提供一種分流式CVD沉積室，涉及復合材料制備的技術領域，包括沉積筒和進氣室，沉積筒內設有隔板，隔板將沉積筒分為上腔室和下腔室；上腔室包括第二固定筒，第二固定筒的底部與隔板之間連接；下腔室包括引流筒和第一固定筒，第一固定筒的另一端與隔板之間留有氣體流通的第一通道，引流筒的另一端與下腔室底部之間留有氣體流通的第二通道；進氣室內設有進氣管，沉積筒內設有與進氣管連接的輸氣組件，輸氣組件包括上排氣室、主氣室、從氣管和引流管，上排氣室置于上腔室內，主氣室和從氣管設于下腔室內，引流管的底部和從氣管設于主氣室的上部，且均與主氣室連通，引流管的頂部還與上排氣室連通，上排氣室和從氣管上均設有排氣孔。
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聲明：
“分流式CVD沉積室” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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