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有機-金屬納米復合薄膜及其制備方法和應用

1211   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:50:09
本發明公開了一種有機?金屬納米復合薄膜及其制備方法和應用，屬于復合材料技術領域。有機?金屬納米復合薄膜由基底層和氟碳?鈦復合薄膜層組成。制備方法為：打磨聚四氟乙烯靶材和鈦靶材，清洗；然后進行預濺射；利用共濺射在基底層表面沉積氟碳?鈦復合薄膜；然后進行高溫退火，即可。本發明的有機?金屬納米復合薄膜的制備方法，通過采用射頻?直流共濺射，改變薄膜沉積狀態的變化以調控納米級表面形貌、化學組分含量；通過調整高溫退火工藝以調控薄膜結晶度，使制得的復合薄膜表現出不同的浸潤性能和二次電子發射特性，且具有純度高、沉積面積大、物相結構高度可控等優點，從而使其應用廣泛，具有顯著的推廣實用價值。
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