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基于鈣鈦礦n-i-n結的窄帶光探測器結構及制備方法

844   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-23 20:20:25
本發明提供一種基于鈣鈦礦n?i?n結的窄帶光探測器結構及制備方法，涉及光電探測領域，本發明包括本征鈣鈦礦晶體作為γ光子吸收層，以及在其兩側生長的n型外延層。所述本征鈣鈦礦晶體為探測光譜段光子的吸收層，吸收層的能量帶隙Eg2=hc/λmax，h是普朗克常數，其中c是光傳播速度，λmax是設計探測光譜的峰值響應波長；利用鈣鈦礦n?i?n異質結的不同能量帶隙，使得設計探測光譜內的入射光子具有較高的吸收系數，從而提高了窄帶探測的量子效率，利用n?i?n結的耗盡層調控探測器的電場分布，將n?i?n結能帶結構和電場分布相結合，調控光生載流子的輸運和復合，獲得較小的探測譜線寬度，以及較高的光譜抑制比。
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