本發明提供一種柔性電容式壓力傳感器及其制備方法,屬于柔性傳感器領域。該傳感器包括:第一電極板、第二電極板、柔性介電層以及靜電膜,第一電極板與第二電極板相對設置,且第一電極板與第二電極板的導電膜表面均附著有靜電膜,柔性介電層設置于第一電極板與第二電極板之間;其中,柔性介電層是通過將用改性二氧化鈦與聚氨酯海綿結合所得的復合材料。本發明通過將結合有改性二氧化鈦的聚氨酯作為柔性介電層,與柔性電極加壓粘合,從而實現高靈敏度的柔性電容式壓力傳感器制備,該傳感器具備極低檢測限,實現了傳感器的多功能測量。
聲明:
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