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基于薄膜熱電器件供電的壓力傳感系統及其制備方法

737   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:42:50
本發明涉及一種基于薄膜熱電器件供電的壓力傳感系統及其制備方法，首先利用磁控濺射技術制備薄膜熱電器件，通過對薄膜熱電器件熱端封裝高導熱率的導熱復合材料，冷端引入水凝膠作為散熱器，當薄膜熱電器件貼附熱源進行發電時，可實現與環境之間大溫差的建立；通過激光雕刻技術控制有機高分子薄膜材料微結構尺寸，采用磁控濺射技術控制Ag/Ti導電薄膜的厚度進而調控導電薄膜材料的電阻，實現高靈敏低工作電流壓力傳感器的組裝；最后將薄膜熱電器件與壓力傳感器進行集成后，利用具有高輸出電壓(15.8mV)的柔性薄膜熱電器件貼于人體皮膚進行發電，并供電壓力傳感器，得到自供電的壓力傳感系統，并可用于人體脈搏的實時監測。
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