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基板載置用托盤

1069   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:16:24
基板載置用托盤，可以包括：主體、引導部等。所述主體可以具有具備了載置基板的第一面的平板結構，并且可以由碳-碳復合材料構成。所述引導部，可以引導所述基板向著所述主體，從而使所述基板載置于各自規定的位置。在太陽能電池基板上形成薄膜時，所述基板載置用托盤可以實施為，在等離子氛圍下的高溫工序中也可以穩定地維持物理特性，并且可以形成為載置更多數量的基板的大面積。
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