本發明涉及傳感器領域,公開了一種三明治型大面積高密度柔性陣列傳感器及其制備方法,傳感器包括上極板、下極板和設置在上下極板之間的陣列壓敏層和絕緣膠層,上、下極板上設有相對應的陣列電極和導線,陣列電極為行列線結構,每列電極通過導線相連接,絕緣膠層對應陣列壓敏層的位置鏤空,其制備方法包括如下步驟:采用絲網印刷工藝制備上、下極板;制備壓敏復合材料;采用絲網印刷工藝將未固化的壓敏復合材料印刷在其中一個極板上的陣列電極處,形成陣列壓敏層;將上、下極板通過絕緣膠貼合。本發明工藝簡單,效率較高,成本低廉,且制備出的大面積高密度柔性陣列傳感器靈敏度高、穩定性好、壓力感知范圍大。
聲明:
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