本發明提供了一種銅銀納米顆粒分散氧化物光學薄膜制備方法,屬于金屬納米顆粒與無機非金屬材料復合材料領域。在濺射設備內同時安裝Cu、Ag和氧化物三個濺射靶,在每個濺射靶和基板前分別設置遮板,通過對金屬和氧化物的沉積參數濺射靶的功率、氬氣流量的單獨控制,制備出具有納米層狀特征的銅銀純金屬納米顆粒分散氧化物復合薄膜;具體步驟為:先制備Cu或Ag納米顆粒單層膜,再沉積氧化物膜,然后沉積Cu或Ag納米顆粒單層膜,之后再沉積一層氧化物膜,制成具有層狀結構的銅銀純金屬納米顆粒分散氧化物薄膜。其優點在于:此種銅銀納米顆粒分散氧化物層狀薄膜中,銅銀兩種納米顆粒以純金屬狀態,在特定的波長處可觀察到兩個吸收峰,具有優良的非線形光學特性。
聲明:
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