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具有恒溫控制功能的半導體激光器件及其制造方法

1240   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-04 00:30:05
一種具有恒溫控制功能的半導體激光器件的制造方法，是在現有半導體激光器芯片制造技術的基礎上，將半導體激光器芯片、半導體熱電制冷器、負溫度系數的熱敏電阻有機地集成在一體。包括：半導體襯底、第一層二氧化硅層、n型緩沖層、n+歐母接觸層、n電極、n型帽層、p型帽層、P電極、p+歐母接觸層、集成TEC熱電致冷器、半導體激光器有源區、第二層二氧化硅層、NTC薄膜電阻、NTC薄膜電阻金屬電極、熱電致冷器球型電極。達到溫度精確控制、高可靠的目的，以解決半導體激光器光電性能參數的精準控制。廣泛應用于環境氣氛探測、通訊、航天、航空、船舶、精密儀器、地質勘探、石油勘探、野外作業、工業控制等領域，具有廣闊的市場前景。
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